涡轮分子泵，简称涡轮泵，可以到达极低的极限真空(至10-10 mbar), ，泵的极其低端压力（最多10月10日mbar ） ，动叶轮和静叶轮交替排列。涡轮分子泵的转速为几万转/分钟。因其自抽速度随着压力增大而减慢，通常以涡轮泵做为前泵与其共同使用。在等离子体处理中，当工作压力极小，其它泵无法达到时（旋叶泵，罗茨泵）会加用斡旋分子泵。