六氟化硫(SF6)在常态下为惰性气体。但当其作为等离子体制程气体被使用时会产生高度活性氟原子和硫氟自由基。因此， SF6气体构成的一个积极的等离子体制程气体（见四氟甲烷） 。

>>Tetrafluoromethane四氟甲烷