以一定能量等离子体粒子轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺。溅射只能在一定的真空状态下进行。 氩离子通常被当做制程气体被使用。以溅射达到等离子清洁效果的工艺也被称作微型喷砂。另一方面在薄膜工艺中溅射也通过轰击样品来获得所气相材料。