diener electronic : SIMS 二次离子质谱仪


	SIMS 二次离子质谱仪二次离子质谱仪，用以分析薄膜的高灵敏度方法。二次離子質譜儀係將具有足夠能量的一次離子（primary ions）撞擊到試樣的表面，經與固體作用後，然後將表面的原子或分子撞擊出來，呈離子狀態的二次離子（secondary ions），收集至質譜儀（mass spectrometer），經質譜之分析，而達到試品表面成份元素之定性及定量分析之研究。

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