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Silicone 硅
符号为Si，半金属自然丰度较高，是整个微电子技术的基础。通过等离子体涂层和刻蚀可以实现微型集成电路（ IC ）的生产。适合蚀刻的制程气体有卤素和含卤素（特别是氟）的气体。
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