舱体通过真空泵被吸至约.0,1 mbar 的真空状态，制程气体被导入真空舱并被激发为等离子体态使其可以和待处理工件接触。新鲜制程气体不断被导入舱体，废气被排出。制程时间通常为1-30分钟，结束后打开舱体通风阀并拿出处理后工件。