用于金属特别是钢表面硬化的方法。这里待处理金属被当做阴极于高温下和氮/氢等离子体接触。这里表面的氧化物和其它杂质先被移除，然后氮离子在表面范围参与金属晶格建造，从而提高表面硬度。此外晶格的滑动性和金属的防腐性也会得到显著改善。除钢外，钛和铝也可进行等离子渗氮。也被称做格利姆氮化。