等离子体的颜色取决于被激发的原子，离子或分子。由于各个气体的能量级不同，在激发状态也显示出不同颜色。最常用的等离子体制程气体颜色如下:
CF4 ：蓝色
六氟化硫：白色蓝色
SiF4 ：淡蓝色
四氯化硅：浅蓝色
氯气：白色绿色
四氯化碳：白色绿色
氢气：粉红色
氧气：淡黄色
氮气：红色，黄色
Br2 ：红色
他：红色，紫色
氖：砖红色
Ar：暗红色
除了能通过颜色辨别制程气体，也可以确认制程气体的纯度及是否被污染等。