等离子系统机处理时使小工件（如集成电路）可以装在里面，通常有不同层，被称为暗盒，使得舱体容积得到最佳使用率。如果被处理工件在处理时不希望发生接触或工件本身机械性敏感时都可使用暗盒处理。引线框架的维护也可以使用暗盒。