双原子气体（氢气） ，等离子体技术中用作制程气体。由于质量小溅射效果较弱，但对消除还原表层有良好效果，如表面的金属氧化物。最轻的化学元素， 由一个质子和一个电子组成。同位素氘和氚在核里分别包含一个或两个额外中子在核。