在等离子体技术发生器是指可以激发等离子体的电压（通常为交流电）单位。基于产生交流电压的频率，有低频发生器（ 40kHz ） ，射频发生器（ 13.56 / 27.12 MHz ）和微波发生器（ 2.45千兆赫） 。