辉光放电光谱的缩写，用于较厚涂层的表面分析方法。在直流电等离子体中样品作为阴极逐渐蒸发。蒸发粒子和等离子体原子气体（氩气）间的碰撞导致的特点排放蒸发层原子的特定发射。