玻璃可以通过化学方法用氢氟酸进行蚀刻，但却可能因其毒性引起过度蚀刻。更安全可靠的方法是以含氟气体作为制程气体用等离子体技术控制玻璃蚀刻。这种蚀刻方法中氟化合物和环境间没有直接接触。