diener electronic : CVD 化学气相沉积


	CVD 化学气相沉积化学气相沉积，涂装的一种方法，沉积层分解为气体化合物。化学气相沉积过程可加入等离子体技术支持（ PECVD=等离子体增强化学气相沉积法）或（ PACVD =等离子体活化化学气相沉积）。等离子体增强化学气相沉积法的应用实例为无定形碳层或硅层以及氮化钛，碳化钛和氮化矽层。

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