两个电子过程: 较少受束缚的电子被发射出来，脱离该电子层而跃迁到能量极较低一层的空位上，所发出的能量激发另一个电子的跃迁（俄歇电子）。俄歇电子能谱基于俄歇效应之上，用来实现物体表面原子极其价性的方法，特别针对“轻”元素，如碳，氮和硼。